ProCeas® 氨气(NH3) 分析仪
氨气(NH3)是一种重要的化工原料,具有较强的腐蚀性和毒性,也是重要的污染性气体。高精度ProCeas®氨气(NH3)分析仪专为准确测量大气和洁净空间环境中低本底氨气而设计,具有检测低限低、测量精度高、漂移小的特点。ProCeas®氨气(NH3)分析仪是一款完全预校准的红外激光光谱气体分析仪,基于光反馈腔增强吸收光谱(OF-CEAS)来加强分析目标的特异性、分辨性、准确性和稳定性。该分析仪能以更高的精度测量氨气气体,具有较高的采集频率(1Hz),25ml的测量腔室有利于在较低的气体流速下获得较高的周转速率,更能保证获得准确的压力和温度控制,特殊设计的低吸附管路和测量腔能进一步提高设备的稳定性和数据的准确性。
ProCeas® 氨气(NH3)分析仪是一套完整、可靠、耐用、易操作的高精度的在线NH3气体分析仪,可应用于半导体工业、废气排放、纯净气体制备以及环境气体等各领域。
技术原理
腔增强吸收光谱(Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy, CEAS)是基于传统光腔衰荡光谱技术(Cavity Ring-Down Spectroscopy,CRDS)技术基础上发展的一种高灵敏度检测技术。腔增强吸收光谱(CEAS)技术基于高品质光学谐振腔的弛豫效应,通过谐振来延长有限腔体内的光谱吸收有效路径,依据镜面反射率,其有效吸收路径可达几十千米,大大提高了检测灵敏度。与传统的CRDS不同,CEAS 测量的是经过谐振腔的透射光强,而CRDS 测量的是光强的衰减时间。CEAS在保持测量精度的同时,无需对激光进行快速关断,使得光谱分析仪结构更为简洁、系统更为稳定。光反馈(Optical-feedback,OF)是CEAS锁定的一种有效方法。
AP2E率先拥有OF-CEAS技术专利(WO03031949),同时拥有专利的低压采样技术(WO2010058107),二者的结合,为高品质气体采样和分析提供了技术保障。产品优势
- 直接抽气测量,无需样品预处理
- 具有自校准功能,无需跨度标准气
- 结构简洁,系统稳定,无事实漂移
- 专利的低压取样,防止冷凝水侵扰
- 通过替代材料验证测量,品质优异
- 运行平稳,以年为周期的维护需求
性能指标
大气中NH3测量 | |
低检出限(3σ, 300秒) | <0.05 ppb |
精度(1σ) | 0.3 ppb+0.1%读数 @ 1s 0.09 ppb+0.1%读数 @ 10s 0.015 ppb+0.1%读数 @ 300s |
零点漂移(72h) | ± 0.20 ppb |
测量间隔 | 1 s |
响应时间/下降时间(10-90%) | < 90 s |
测量范围 | 0~1000 ppb(确保范围) 0 ~ 10 ppm(操作范围) |
可选测量气体 | N2O:0 ~ 50 ppm CH4:0 ~ 50 ppm H2O:0 ~ 5% |
系统规格 | |
技术原理 | OF-CEAS (WO 03031949) |
高反射镜 | 3面高反镜,反射率>99.999% |
测量腔温度控制 | ± 0.002 K @ 1s & 0.00005 K @ 30 min |
测量腔压力控制 | ± 0.016 mbar |
取样温度 | -10 ~ 45 °C (temperature) |
取样湿度 | < 99% RH,无冷凝 |
取样流速 | > 400 ml/min |
数据输出 | 以太网,ModBus (TCP/IP, RS),模拟,USB |
供电 | 110 ~ 230 VAC, 50 ~ 60 Hz |
功耗 | 150 VA |
尺寸 | 标准19英寸机架,4U |
重量 | 20kg |
生产厂家:法国 AP2E